六氟丁二烯主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路先進(jìn)制程的刻蝕工藝，與傳統(tǒng)刻蝕氣體相比，六氟丁二烯刻蝕速率更快、選擇性和深寬比更高、環(huán)境更友好，在先進(jìn)制程中應(yīng)用前景廣闊，公司生產(chǎn)的六氟丁二烯產(chǎn)品純度達(dá)4N，產(chǎn)品已進(jìn)入客戶驗(yàn)證階段。

以品質(zhì)為基石，開(kāi)拓全球市場(chǎng)

目前，派瑞特氣公司擁有單條年產(chǎn)能超過(guò)3000噸的高純?nèi)獨(dú)怏w生產(chǎn)線，擁有高純六氟化鎢規(guī)?；a(chǎn)線，擁有三氟甲磺酸系列產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)基地，建設(shè)了高純鎢制品中試生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了企業(yè)大宗制氣的技術(shù)突破，已成為國(guó)內(nèi)特氣行業(yè)產(chǎn)品系列豐富、生產(chǎn)能力大、市場(chǎng)覆蓋面和占有率高、持續(xù)創(chuàng)新能力強(qiáng)的企業(yè)。

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推薦產(chǎn)品

公司主要從事電子特種氣體及三氟甲磺酸系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品包括高純?nèi)⒏呒兞u、高純氯化氫、高純氟化氫、高純四氟化硅、高純氘氣、高純六氟丁二烯、高純八氟環(huán)丁烷、高純電子混合氣等電子特種氣體，以及三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐、雙（三氟甲磺酰）亞胺鋰等含氟新材料。